01 / HIGH-PURITY PRECURSORS
초고순도 전구체
DRAM, 3D-NAND, Logic의 박막 증착 공정에 사용되는 전구체 소재입니다. High-k 및 Silicon 계열 제품을 중심으로 합성·정제와 고객 맞춤형 리간드 설계에 대응합니다.
관련 제품 보기DRAM, 3D-NAND, Logic의 박막 증착 공정에 사용되는 전구체 소재입니다. High-k 및 Silicon 계열 제품을 중심으로 합성·정제와 고객 맞춤형 리간드 설계에 대응합니다.
관련 제품 보기차세대 EUV 노광 공정의 초미세 패터닝을 위한 감광 소재 영역입니다. 고감도와 고해상도, 패턴 품질 및 공정 마진을 고려하는 소재 기술에 주목합니다.
개발·제품 문의Cp base organic은 반도체 소자와 차세대 디스플레이 공정의 절연막·평탄화막·보호막 등에 활용되는 소재 영역입니다. Cp 계열 유기소재와 리간드의 합성·정제에 대응합니다.
관련 제품 보기제품과 기술, 맞춤형 개발·생산에 관한 문의를 기다립니다.