プロセスの要求を、
素材の可能性へ。

01 / 超高純度前駆体

超高純度前駆体

DRAM・3D-NAND・ロジックの薄膜形成プロセスに使用される前駆体材料です。High-kおよびシリコン系製品を中心に、合成・精製とお客様に合わせた配位子設計に対応します。

DRAM3D-NANDLogicALD / CVD

次世代EUV露光プロセスの超微細パターニングに向けた感光材料です。高感度・高解像度、パターン品質およびプロセスマージンを考慮した材料技術に注力しています。

超微細パターニング高感度・高解像度次世代感光材料

03 / Cp系有機材料

Cp系有機材料は、半導体素子や次世代ディスプレイプロセスの絶縁膜・平坦化膜・保護膜などに用いられる材料分野です。Cp系有機材料と配位子の合成・精製に対応します。

Cp系有機材料配位子

製品の構造と主要規格は詳細画面でご確認いただけます。分析成績書および実際の供給仕様・数量については、お問い合わせください。

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